去年在厦门功率超声年会上有清华大学推出的“压电阻抗分析系统”在功率超声的研究和生产单位得到了广泛的应用。相关检测的参数如下：
用阻抗分析仪可以评定压电陶瓷片、压电换能器、整个振动系统（换能器加上变幅杆、模具）等各种器件设备的性能优劣。用阻抗分析仪分析超声器件设备，最重要的几个参数如下：
1. Fs：机械谐振频率，即振动系统的工作频率、设计中应尽可能接近期望值。
对于清洗机，振子的谐振频率一致性越高越好。
对于塑焊机或超声加工，变幅杆或模具设计不合理的情况下，振子的谐振频率会偏离工作点。
2. Gmax：谐振时的电导，振动系统工作时的电导值，它是动态电阻的倒数。在相同的支撑条件下越大越好，Gmax＝1／R1。一般对于清洗或焊接振子来说，一般在50ms～500ms之间。如果太小的话，一般来说，振子或振动系统工作会有问题，如电路不匹配或转换效率低、振子寿命短。
3. C0：压电器件等效电路中静态支路的电容量，C0＝CT－C1（其中：CT为1kHz下的自由电容，C1为压电器件等效电路中动态支路的电容量）。使用时要以电感对C0进行平衡。
在清洗机或超声加工机器的电路设计中，正确地平衡C0可以提高电源的功率因素，使用电感平衡有两种方法，并联调谐和串联调谐。
4. Qm：机械品质因素，以电导曲线法确定，Qm＝Fs／(F2－F1)，Qm越高越好，因为Qm越高，振子的效率越高；但Qm必须与电源匹配，Qm值太高时，电源无法匹配。
对于清洗振子来说，Qm值越高越好，一般来说，清洗振子的Qm要达到500以上，太低的话，振子效率低。
对于超声加工来说，振子本身的Qm值一般在500左右，加上变幅杆之后，一般达到1000左右，再加上模具，一般达到1500～3000。太低的话，振动效率低，但是不能太高，因为Qm越高，工作带宽越窄，电源难以匹配，电源难以工作在谐振频率点，设备无法工作。
5. F2，F1：振子半功率点频率，对于超声加工的整个振动系统（包含变幅杆和模具）来说，F2－F1要大于10Hz, 否则频带太窄，电源难以工作在谐振频率点，设备无法工作。 F2－F1与Qm值直接相关，Qm＝Fs／(F2－F1)。
6. Fp：反谐振频率，压电振子并联支路的谐振频率，在这个频率下，压电振子的阻抗最大。
7. Zmax：反谐振阻抗，正常的情况下，一个换能器的反谐振阻抗都在几十千欧姆以上，如果反谐振阻抗比较低，往往振子的寿命比较短。
8. CT：自由电容，压电器件在1kHz频率下的电容值，此值和数字电容表测得的值是一致的。这个值减掉动态电容C1就可以得到真正的静电容C0，C0需要用外接电感平衡，C1在系统工作的时候参与能量转换，不必平衡。
9. R1：动态电阻，压电振子串联支路的电阻，在相同的支撑条件下越小越好。对于清洗或焊接振子来说，如果R1太大的话，说明振子有问题。
10. Keff：有效机电耦合系数，一般来说，Keff越高，说明转换效率越高
压电阻抗分析系统在超声行业的应用代替了HP4192在功率超声行业的使用，利用导纳圆原理，采用了五个坐标系，既：导纳坐标、导纳极坐标；阻抗坐标、阻抗极坐标；对数坐标。可以对测量的数据和图形保存、打印或做成表格、检测报告。
该系统采用计算机和测量仪器及测量软件相结合的方法，成本低、速度快、数据准确、图形直观、体积小，便于公司的实验室、车间、现场的使用。
该系统有三代产品，测量频率分别在100Hz－200Khz；1KHz－500KHz；1KHz－700KHz；测量速度从13点／秒－30点／秒。
软件可以根据功率超声行业的特点，在数据的计算公式上和测量参数上，有很多的选择，可以满足研究、生产的需要、不同产品特点的需要。
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